全國服務(wù)咨詢熱線:
18811105083
18811105083
小測(cè)量半徑：2µm
小測(cè)量楔角：20°
小測(cè)量粗糙度（Ra）：80nm
小測(cè)量粗糙度（Sa）：50nm
大掃描高度：25mm
大操作距離：17.5（5×物鏡）
大擴(kuò)展視野范圍：2500mm2
垂直分辨率：20nm
大單一方向測(cè)量范圍：50mm
位移范圍（X/Y）:50mm×50mm(自動(dòng)調(diào)節(jié))
位移范圍（Z）:130mm(26mm自動(dòng)調(diào)節(jié))
全國統(tǒng)一服務(wù)電話
010-62930470
電子郵箱：info@dataphys.com.cn
公司地址：北京市海淀區(qū)知春路甲63號(hào)51號(hào)樓衛(wèi)星大廈1208室
公眾號(hào)
